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食商品编码称： X X射线光学子能谱程序Theta Probe AR XPS
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Thermo Scientific™ Theta Probe 角分辨 X 射线光电子能谱系统，无需倾斜样品即可非破坏性表征超薄膜，收集角分辨能谱。创新科技依赖于固体表面近表面区域的工程处理。对于包括自组装膜、表面改性聚合物和半导体器件在内的这类材料，必须充分了解它们前几纳米的组成。Theta Probe 装有微聚焦单色器和并行 ARXPS 分析器，可使复杂薄膜测量变得简单而直观。 Theta Probe 可扩展其它分析功能，如紫外光电子谱以及多种样品处理选项。Theta Probe XPS 具有独特的功能，无需倾斜样品，可并行收集角度 60° 范围内的角分辨 XPS 谱。这一特性方便了超薄膜的非破坏性表征。

Theta Probe 仪器的重要特征

超簿膜精确测量不用再集中，多处理机系统采集器 ARXPS 谱
小束斑 X X射线源符合于小显著特点剖析
检查是否态成相
选用同轴和离轴照明设备在表层对中原材料
可的操作探讨大图纸
人员配备深入剖析材料用的亚铁离子源
全系统 Thermo Scientific™ Avantage™ 小软件，可控制电脑检测仪器、获取数剧显示、治疗数剧显示和效果汇报

Theta Probe 的 UHV 腔室由 µ 金属构成，具有以下特点：

电子能量分析器

双准确把握全 180° 半球讲解器
多静电能收到弧透镜不适主要用于能谱分享
二维智能型性能谱探测系统器适用性于能谱介绍和显像

微聚焦单色化 X 射线源

250 mm 罗兰圆暖色器
微专注智能枪和精确位替换铝阳极 X X射线源
环行可调节控石英砂结晶和结晶自动化机械手臂r

结合低能电子和离子于一体的双束中和枪

荷电与
中合枪安装有静电放电偏转极，用以透彻对中
低能弥散、高色度度电子器件枪
漏阀和多路汽体标准接口
差分抽气

单原子和气体团簇离子源 (MAGCIS)

双源亚铁离子枪，适合于软食材和硬食材
分离纯化支持于角粪便 XPS 剖析的高 k 相关材料
供试品干净的
深度的查摆
可该变团簇规格（最大的大约 2000 个原子核）
团簇能量转换没个氧原子 1 eV 以上内容
单氧分子 Ar+ 的模式 (0.5–4 keV)
最快、一键化的格局更换
由 Avantage XPS 资料软件彻底调控

样品观察

防 X 电子束分析窗
装配有 CCD 摄录头的图纸显微对中系统
多路灯饰灯光
进样前捉捕定标图纸托图文的手机桌面系统
单击 Avantage 参数设计，可可以获得图相阻止和展示介面

快速进样仓

UHV 试品进样拷贝设备装置设备
一定安全可靠互锁、98 mm 的解析室气动系统门阀
涡轮增压团伙泵和拖动机械设备泵

五轴样品台

高定位精度、自動试样台，涡流内步进驱动软件器电动马达驱动软件
样本台远程控制器配备有行为球和手机游戏杆，确认接面与 Avantage 数值软件接

Avantage 数据系统

检测设备操控
多元化品探讨
线扫一扫
广度分析
样机面地理分布
高级电脑软件操作并行执行角分辩 XPS (PARXPS)，涉及四层膜重量核算和非破碎性淬硬层分析重新构建

选项

多彩品托
倾角和360度旋转样品英文托
配有热耦平均温度设定器的加水供试品托 (1000 K)
样机冷凝装备
三轴补偿器合格品托
封闭型式循环系统风冷机，20 °C 时压缩机量为 1000 W
水的温度抑制器和水流量抑制装制

透镜、分析器和探测器

Theta Probe XPS 软件系统主要采用宽吸收角 (60°) 的电磁干扰透镜分类整理光电科技子，在 PARXPS 估测里能很大地增多精确度度，提升分类整理角区间。透镜的轴与土样法向方位的顶角为 50°，分类整理光电子的想法区间为 20° 至 80°。土样普通为含量讲解具体位置，那些想法都说为相对应于土样法向方位的顶角。二维检测器安转在 180° 球扇型讲解器的出射焦水平上。Theta Probe 透镜绝无仅有，有下例两类可岗位状态：一般的状态（用作能谱进行数剧数剧研究，不需度角识别数剧信息）；角识别状态。我们对全谱，需要的养分的范围内图太大了始终无法选择浏览 (snapshot) 状态，进行数剧数剧研究器需按一般的状态扫描仪。在角识别状态下，自动化在发现器上在好几个方面烤上反射率。基本上我们对半圆形养分进行数剧数剧研究器，按自动化的养分笔直进行数剧数剧研究器的养分反射率方面烤上反射率。自动化也可按原辅料上试射自动化的度角在径直方面烤上反射率。所以咧可并行传输提取角识别 XPS 谱，不需集中原辅料。光自动化被反射率迈入最大达 96 度角路检修通道内。医疗仪器可在高于 60° 角的范围内图内征集这光自动化。因此统筹兼顾度角和准确度度，基本上数剧被征集迈入 16 个路检修通道，重叠 60° 角的范围内图。二维试探器为多作业区检侧，几斤 112 个势能作业区，遍布在出射焦单面的径向方学习。所以咧，就不需要扫码浅析器能够收集整理优产品质量的云服务器谱。这种共同点可合理利用时光，愈加当在采谱作业量一定时，如深入破析或 XPS 催化激光散斑。

X 射线源

Theta Probe 设备装备有微焦点暖色器，它是设备的并不是调动起源。暖色器是指可手机活动阳极，可有效的加大阳极的年限。在一定阳极设备上，其它阳极靶上铝电镀件均会随选用时候而消费掉，后面是需要换新。 Theta Probe 的阳极可手机活动，让电子器材辐照到一家剥好区，不须被破坏真空系统。

样品面分布

Theta Probe 用 X 电子束束斑皮肤返场皮肤数据分析绿地面积（即源皮肤返场皮肤 SAXPS）。横项分别 15 µm 至 400 µm。在 X 电子束束斑下借助活动合格品台展开扫视器化工影像。这些，X 电子束束斑高低取决了形象的分别。借助扫视器合格品台影像，高速度不任何具体方法快，但拥有好多项极为重要优势之处。

样品台扫描的优点：

氧化锡中锡的 XPS 化学像。

在一整个画面部分内室内空间签别率节流过程。
监测生产率高，透镜以高达视频传输率显像。
实验仪器高速互传指数指数函数不随角度而的变化，消失了由扫锚限量讲解户型面积对高速互传指数指数函数有的概率后果。
X 放放射性元素力量和刚度不随部位而变幻，要是在试品上扫视 X 放放射性元素束斑激光散斑，X 放放射性元素力量和刚度并不会稳定平衡变了。
有能够荣获大视场面积。主要视场由原材料台的位移面积认定，Theta Probe 为 70 mm X 70 mm。其它的成相措施视场面积比较接受限制。
图形上的企业每一个象素点均可刷快一份谱。用一般性的的办法也可对哪些谱开展治理，刷快多的参考值进行分析和生物学态的信息。
在每条手机像素点底下可对 PARXPS 测定，可拿到重叠层钢板厚度的规划画像。各种 XPS 分析仪器没得此工作。

能谱或 PARAXPS 数据库源可不可以从图片的仍何区城中，甚至是从单独一两个判别率中分离下来下来。化学上的上像经最先进的数据库源整理技術后，如非非线性最短二乘法拟合曲线 (NLLSF)，必能够得到小于的化学上的上态激光散斑。还回收利用能谱和角判别谱，能够得到厚薄匀称像和亚外层像。 Theta Probe 特色的性能即匀称激光散斑与 PARXPS 切合，促使 XPS 激光散斑延长一两个新的向度。

样品尺寸、对中和制备

仪器示图以及显微摄像头、样品对中。

Thermo Scientific Theta Probe 仪器中安装样品的尺寸范围。

Theta Probe XPS 体统软件为全主轴电动机win7驱动器包五维样板台，X 和 Y 的可走动空间 70 mm，的高度 Z 可走动空间 25 mm。样板台适当接入多重型的大样板。如样板还要集中或电动机视频，样板也要接入在样板托上，可联续电动机视频，集中空间 ± 45°。样板格斗台其他轴的运作均由主轴电动机win7驱动器包，主轴电动机接入 Avantage 的数据体统软件反控样板所在位置。显微拍摄机头十分迅速在土样上边地位，显微拍摄机头的轴与土样趋于概述地方时的法向方位抛物线。光电技术系统软件的视场条件 400 µm 至 4 mm。当光电技术像集聚清析后，概述地方与安全标识图片线的主地方小于对中。为对中概述有特点地方，可以在安全标识图片线的主集聚清析土样有特点，可以使用旅途球或鼠标键面向光电技术图文来完成土样地位。配齐供试品分离纯化室，可组装另一个制样特点，其中包括铁离子刻蚀、供暖、冷确、破裂、供试品停入等。

真空系统

各种 Thermo Scientific XPS 能谱仪具体了解室由 5 mm 厚的 µ 铝合金制得，可最多容许地屏幕磁体。适用齿轮大分子泵和钛凝练泵抽具体了解室机械泵。是这样的机械泵调试利于具体了解室机械泵远低于 5 X 10-10 mbar。用氧分子泵抽进样室高压气，前级泵为高速水平式会自动化设备泵。运用互锁电动阀门，差分抽气进行进样室保证。在进样室进行实际操作程序会自动体现大气质量时，程序能因为必备的保护区。

性能

当分析器被调谐到谱 Si 2p 区域时通道板输出的图像。样品为单晶硅片上 4 nm 厚的氧化硅。硅单质峰和氧化硅峰清晰可见，但是元素硅信号强度随角度的下降快于氧化物的峰。

指标

Theta Probe 的评价依据为一般而言作业具体经济条件下的评价依据。微瞄准彩色器每一个尺寸的束斑均有其一定的最大化最大功率。故此用不着有意要计算率比例怎么算规模。试样的安装在普通试样托的平台下，在同样的所在位置上控制束斑规模和校正计算率变了。非常不同于机器设备评价依据时，关键性的是要切实保障终端采集数据报告的具体经济条件同样。

并行角分辨 XPS (PARXPS)

ARXPS 测量超薄型表层层酚类化合物和料厚工作方面的用途愈来愈多。在掠出射角附近商场，XPS 但是抽取亲近表层层的数据消息。在离近法向领域抽取出射电子为了满足电子时代发展的需求，，XPS 消息强度比较大的。Theta Probe 的弧透镜深入分析器，在 2D 探测系统器上可具备势能折射率和方面折射率。可此外搜集两大类信息，而使在角鉴别 XPS 检测的时暂时无法倾角产品的样品。

膜层排序

简单化地采用角判定 XPS 动态数据可获得到相对而言钢板厚度等值线。这能可界面显示打样定制中膜层的排布按顺序，但不能打造钢板厚度和钢板厚度问题。

由 PARXPS 数据得出的相对深度曲线，显示了多层膜材料中膜层排列顺序。膜层结构顺序为 Al2O3、HfO2、SiO2 和 Si（衬底）。图中可见这些薄膜层结构和污染碳层。

厚度测量

再生利用一体化在 Avantage 检测值系统化中的覆盖面层重量算起app，检测值算起膜层重量。很多层膜的重量用 PARXPS 算起。

比较 Si 片上 SiO2 膜层的 ARXPS 和椭偏的测量。虽然曲线线性很好且斜率接近于 1，但是在椭偏轴上有 0.8 nm 的截距。在此比较分析中通常可观察到截距，这是因为在表面上椭偏仪既测量氧化层也测量了污染层。而 PARXPS 测量只测量氧化层。材料在暴露空气期间表面会形成一层污染层。如果需要，可用 PARXPS 测量污染层厚度。

深度剖析

由 PARXPS 数据重构的深度剖析。

用求熵最明显值做法，能从 PARXPS 中计算进一步对照检查。对检验从外壁改性材料绝缘带体，PARXPS 是个强有效性的工具软件。选择 Theta Probe 时，供试品不要倾角，那么能确保荷电房屋补偿节流过程。分析一下相关人员行确信谱峰样式形态随坡度的转化源自从外壁催化特性转化。

溅射深度剖析

硬盘的溅射深度剖析。

对待钢板厚度大于等于四个納米的薄层，运用惰性其他气体阴阳离子溅射领取质量浓度层次的部析。 Theta Probe具备高精准度，能打造小范围层次的部析。溅射范围越小，刻蚀速度越高，大数据数据统计系统时光短些。Theta Probe 具有着以下基本特征，调整了溅射淬硬层部析安全性能：

EX05 阴阳化合物枪可在强阴阳化合物流前提的条件下操作可以可以获得太快的刨析效率，但是可在低阴阳化合物人体脂肪（低至100 eV）前提的条件下操作可以可以获得适宜进一步判断。施用阴阳化合物枪中的“漂移管”，可激发低人体脂肪性能参数。
繁多品溅射进一步对照检查数剧采集工具无须人工费核查，有效地改善了测试英文产品的样品有效率。
数据统计系统化分为目标值系数研究分析 (TFA)，曲线和非曲线很小二乘法线性拟合（LLSF 和 NLLSF）。等变量完完全全结合到小软件中，保证从某一对照检查层更大装量地得到到将会的电学信息查询。
溅射时间，试样沿位子角平移减低了溅射促进的形貌变现。

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